प्रतिक्रियाशील आयन एचिंग प्रणाली सेमीकंडक्टर सिलिकॉन आधारित सामग्री एचिंग इनप सामान्य तापमान एचिंग आरआईई विफलता विश्लेषण

अनुकूलन योग्य नमूना आकार: 4, 8, 12 इंच और विभिन्न छोटे आकारों का समर्थन करता है, जिसमें अनुकूलन के विकल्प उपलब्ध हैं।

लचीले आरएफ पावर विकल्प: आरएफ प्लाज्मा पावर 300W से 1000W तक होता है, जिसमें कई वैकल्पिक कॉन्फ़िगरेशन उपलब्ध हैं।

बहु-गैस कॉन्फ़िगरेशन: एक साथ 9 तक प्रक्रिया गैसों का समर्थन करता है, जिसमें अनुकूलित गैस चैनल विकल्प उपलब्ध हैं।

बहुमुखी सामग्री उत्कीर्णन: सिलिकॉन, III-V, II-VI, धातुओं, कार्बनिक पदार्थों और ग्राफीन जैसी 2D सामग्रियों के लिए उपयुक्त।

1-वर्ष की वारंटी: इसमें 12 महीने की वारंटी शामिल है, जिसमें वारंटी समाप्त होने के बाद भी पुर्जों को लागत मूल्य पर बदला जा सकता है।

सीई प्रमाणन: उत्पाद अर्धचालक निर्माण के लिए सीई सुरक्षा और गुणवत्ता मानकों को पूरा करता है।

पूरी तरह से स्वचालित नियंत्रण: इसमें एक बटन वाला पूरी तरह से स्वचालित नियंत्रण प्रणाली है, जो इसे संचालित करने में आसान बनाती है।