चीन ने व्यापक सेवा अर्धचालक स्वचालित टेल अल्फा 8s तापीय प्रसंस्करण उपकरण का उपयोग किया।

हम जेलाटिनाइजेशन मशीनें, इचिंग मशीनें, कोटिंग और डेवलपमेंट सिस्टम या समान कोटिंग और डेवलपमेंट सिस्टम, पतली फिल्म जमाव उपकरण, आयन इम्प्लांटेशन मशीनें, ऑक्सीकरण/डिफ्यूजन/एनीलिंग उपकरण प्रदान कर सकते हैं, जिन्हें हीट ट्रीटमेंट उपकरण भी कहा जाता है।

यह उपकरण एक ऊर्ध्वाधर भट्टी ट्यूब संरचना को अपनाता है, और सटीक रूप से गुहा तापमान क्षेत्र को नियंत्रित करने के लिए बहु-जोन स्वतंत्र हीटिंग तत्वों और अनुकूली वास्तविक समय तापमान नियंत्रण (एआरटी कंट्रोल) एल्गोरिदम का उपयोग करता है। इसमें एक मजबूर शीतलन इकाई भी लगी हुई है जो तेजी से हीटिंग और कूलिंग और समान हीट ट्रीटमेंट प्राप्त करने में मदद करती है।

यह उपकरण वेफर्स के बहु-चरणीय थर्मल प्रोसेसिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिसमें ऑक्सीकरण (सूखा/गीला), डिफ्यूजन, एनीलिंग और एलपीसीVD शामिल हैं। यह बैच प्रोसेसिंग का समर्थन करता है, जिसमें एक बार में 150 वेफर्स तक संसाधित किए जा सकते हैं, और इसमें एक उन्नत नियंत्रण प्रणाली है जो पूरी तरह से स्वचालित संचालन और प्रक्रिया प्रबंधन के लिए है।

इसका व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर एकीकृत सर्किट, पावर डिवाइस, एमईएमएस और डिस्प्ले पैनल जैसे क्षेत्रों में वेफर हीट ट्रीटमेंट के लिए उपयोग किया जाता है। यह 4 से 8 इंच (100-200 मिमी) सिलिकॉन वेफर्स के साथ संगत है और लॉजिक चिप्स, मेमोरी चिप्स और कंपाउंड सेमीकंडक्टर्स सहित उपकरणों के निर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।

मुख्य चुनौती वेफर स्तर पर तापमान की एकरूपता प्राप्त करना है, जिसके लिए आमतौर पर 1 के भीतर भिन्नता की आवश्यकता होती है ताकि डिवाइस की उपज सुनिश्चित की जा सके। साथ ही, उन्नत प्रक्रिया नोड्स की सख्त कम थर्मल बजट आवश्यकताओं, उच्च तापमान वाले घटकों की टिकाऊपन, उच्च उपकरण लागत और लंबे अनुसंधान एवं विकास चक्रों, साथ ही 200 मिमी से 300 मिमी तक प्रक्रियाओं को अपग्रेड करने से जुड़ी संगतता संबंधी मुद्दों को भी संबोधित करना आवश्यक है।